组员手中接过数据,和俞允成两人脑袋凑到一起,一行一行的看了下去。
“杂质浓度,3ppm!哈哈。”俞允成笑出声来,最要紧的一项指标,已经达成了。
3ppm(百万分之一)的杂质浓度,意味着硅单晶的纯度达到了99.9997%,妥妥的5个9硅单晶,甚至已经开始接近6个9了!
这比他一开始的目标:5个9,杂质浓度下降了好几倍。
对于俞允成来说,一开始想都不敢想!
高振东对此也非常高兴,毕竟他知道这个单晶炉是靠谱的,但是具体能靠谱到什么程度,那还是不知道的。
毕竟设计归设计,实现归实现,设计指标八楼高,实际成果地下室的事情也不少见。
杂质浓度对于硅单晶来说非常重要,在制作半导体器件的时候,为了得到需要的特性,对硅单晶进行掺杂的时候,常用的掺杂浓度单位是ppma(百万分之一原子比)、ppba(十亿分之一原子比),前者更多用一些。
从这两个掺杂浓度单位就知道,1ppm的有害杂质对于半导体器件的影响有多大了。
实际上科技发展到高振东穿越的时候,半导体工业硅单晶纯度动不动就是9个9,而极限能做到16个9!
不过现在5个9的也能用了,更别说现在这个“半步6个9”的产品了。
不过还不能高兴太早,他们一项一项的继续往下看。
“晶体结构,没问题,单晶没跑了。”
“晶向,没问题。”
“电阻率,在预计范围内。”
一路看下来,两人神情振奋,别的不知道,至少这第一根,能看到的项目,是都妥了。
至于其他一些诸如氧含量、碳含量、少子浓度、位错密度之类的参数,要么还在测,要么测不了。
不过这些都不影响高振东确定一件事情,至少这根硅单晶棒,没问题了!
就算后面两根出了问题,那也没什么关系,至少这一根说明,这个炉子本身没问题,有问题的是我们的工艺和流程。
说实话,以到现在在单晶炉上投入的时间和成本来算,这炉子就算十根里面拉成一根,高振东都要夸它工作努力,成功率高。
正所谓是没有垃圾的性能,只有垃圾的价格。
高振东和俞允成对视一眼,他点了点头,把测试数据递给了俞允成。
让他来宣布吧,虽然单晶炉能成功,高振东自己毫无疑问是最核心最主要的原因,首功当之无愧,没有他拿出来的设计、理论、数据,这东西成不了,或者说速度没有这么快,性能没有这么优秀。
但是要论劳累程度,俞允成应该排第一,所以宣布成功这份殊荣,就让俞允成来吧,这是他应得的,至于高振东自己,不缺这个。
俞允成高高举起手中的测试数据,在空中挥舞着,面色微红,语气昂
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